Feldemissions-SEMs wurden für hochauflösendes Imaging entwickelt. Der Schlüssel zur Leistungsfähigkeit eines Feldemissions-SEM liegt in seiner elektronenoptischen Säule. Die Gemini-Technologie ist in alle ZEISS FE-SEMs und FIB-SEMs integriert: Sie ist optimiert für die herausragende Auflösung jeder Probe, insbesondere bei niedrigen Beschleunigungsspannungen, und sorgt für eine umfassende und effiziente Detektion und Benutzerfreundlichkeit.
Die Gemini-Optik zeichnet sich durch drei Hauptkomponenten aus:
Vorteile für Ihre FIB-SEM-Anwendungen:
ZEISS Crossbeam 350:
Gemini Säule mit Einfach-Kondensor, einem Inlens Detektor und VP Funktionalität.
ZEISS Crossbeam 550:
Gemini II Säule mit Doppel-Kondensor und zwei Inlens Detektoren.
Heutige SEM-Anwendungen erfordern standardmäßig hochauflösendes Imaging bei geringer Landeenergie. Das ist wichtig für:
Die neuartige Gemini-Optik ist optimiert für Auflösungen bei geringen und sehr geringen Spannungen sowie zur Kontrastverbesserung.
Zu den technologischen Merkmalen zählen der hochauflösende Quellenmodus und die Tandem decel-Option.
Der hochauflösende Quellenmodus führt zu einer verringerten chromatischen Aberration, da die primäre Energiebreite um 30 % reduziert wird.
Tandem decel, eine zusätzliche externe Vorspannung an der Probe von bis zu 5 kV verbessert die Imaging Qualität bei Niederspannung.
Tandem decel wird jetzt mit ZEISS Crossbeam 350/550 vorgestellt und kann in zwei verschiedenen Modi verwendet werden:
ZEISS Crossbeam 550: Gemini II Säule mit Doppel-Kondensor und zwei Inlens Detektoren und einer FIB-Säule angeordnet unter einem Neigungswinkel von 54°.
Die ZEISS Crossbeam-Produktfamilie ist mit einer FIB-Säule der nächsten Generation ausgestattet – Ion-sculptor. Sie zeichnet sich dadurch aus, dass sie hohe Durchsätze bei hohen Ionenstrahlströmen erzielt und gleichzeitig bei niedrigen Landeenergien eine exzellente Performance hat. Dies ermöglicht die Anfertigung qualitativ hochwertiger Proben.